等离子发生器是由大量带电粒子组成的非凝聚系统，等离子体是指在宏观上呈电中性的电离态气体，是电子、离子、自由基和各种活性基团等粒子组成的集合体。其中正电荷总数和负电荷总数在数值上相等，故称为等离子体。此等离子体定义既强调了等离子体微观上的电离属性，又强调了等离子体宏观上的电中性。
等离子发生器按照不同的标准可分成不同种类：
1、按存在方式分类可分为天然等离子体与人工等离子体。宇宙中99%以上的物质是以等离子体状态存在的，称为天然等离子体。如恒星星系、星云，地球附近的闪电、极光、电离层等。人工等离子体如日光灯、霓虹灯中的放电等离子体，等离子体炬中的电弧放电等离子体，气体激光器及各种气体放电中的电离气体。
2、按电离度分类可分为*电离等离子体(α=1)和强电离等离子体(1>α>0.01）以及弱电离等离子体（α<0.01）。
3、按粒子密度分类可分为致密等离子体（粒子密度n为10^5~18cm-3）和稀薄等离子体（粒子密度n为10^12~14cm-3）。
4、按热力学平衡分类可分为*热力学平衡等离子体、局部热力学平衡等离子体和非热力学平衡等离子体。*热力学平衡等离子体（高温等离子体)，体系中电子温度T。和离子温度T以及气体温度T*一致，如太阳内部和核聚变。局部热力学平衡等离子体（热等离子体），因等离子体中各物种温度一般很难达到*的热力学一致性，当其电子温度、离子温度和气体温度局部达到热力学一致性，即Te=Tg=3×10^6～3×10^8K时，称其为局部热力学平衡等离子体，如高频等离子体、电弧等离子体等。非热力学平衡等离子体（冷等离子体或低温等离子体)，等离子体内部的电子温度高达上万开尔文，而离子温度和气体温度接近室温，即Te>Ti≈=Tg，从而形成了热力学上的非平衡性。
