无油涡旋真空泵具有抽速大、清洁无油、噪音低、节能环保、可靠耐用、安装方便的特点。工作过程中动、定涡旋盘无接触，依靠相对运行形容积不断缩小的新月形压缩腔，通过吸气，压缩，排气的循环，使气体从抽气口吸入，排气口排出，实现对被抽腔体抽真空。主要应用在真空手套箱、真空镀膜、真空炉、真空排气台、真空预处理、空间环境模拟、电真空器件制造等设备上，创造无油真空环境。
结构组成：
主要由主抽泵(复合分子泵)、前级泵、控制阀门、电控系统、真空管路等组装于机架上而成的清洁无油超高真空获得设备。涡旋盘由原型平面和其上渗出的一条或者几条渐开线螺旋盘壁组成，定涡旋盘和动涡旋盘的组成涡旋盘复构成无油涡旋真空泵的基础抽气机构。能提供大抽速的清洁无油高真空环境，安装方便，性能稳定，可靠耐用，是理想的无油超高真空抽气系统。
无油涡旋真空泵的适用范围非常广泛，可以应用到以下项目中：
1、自动包装线上的真空吸拉列开袋、装料。
2、印刷机械上的纸张真空吸送。
3、各种液体注入瓶内的高效率真空灌装。
4、各种塑料制品的真空吸塑成形。
5、物体表面在真空状态下的气密性试验。
6、纸箱及瓶类物品的标鉴真空吸送粘贴。
7、真空吸引固定下的照相制版。
8、真空状态下的利用压力差引导气体分析。
9、各种医药机械自动线上的配套使用。
10、加工上的非磁性零件夹用的真空吸盘夹具。
11、各种容器在真空状态下的检漏试验。
12、食品加工机械上的应用。
13、中西药厂真空蒸馏干燥。
14、医院手术室的真空吸引。
15、院校、研究所、厂矿实验室气体分析，理化实验。
16、各种医疗仪器的配套使用等。
